MEMS微小型热式气体质量流量计是一种通过检测流体与热源间热量交换关系直接测量气体质量流量的仪表，其核心原理基于流体流经加热元件时的冷却效应，通过恒定温差法或恒功率法建立温度差与质量流量的数学关系。该仪表主要由传感器、信号处理电路及显示模块构成，采用双铂电阻温度传感器实现温度检测与加热控制 ，具有无活动部件、压损小、量程比宽（可达1000:1）等技术特性，广泛应用于煤气、天然气、压缩空气及半导体工艺气体等领域。
